潔凈臺(tái)在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用

潔凈臺(tái)的工作原理在于首先工作臺(tái)內(nèi)的空氣凈化；其次，凈化過(guò)程在工作臺(tái)內(nèi)產(chǎn)生一點(diǎn)空氣正壓，正壓可防止由操作員與走廊產(chǎn)生的污染物進(jìn)入工作臺(tái)。

半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。然而一個(gè)主要的問(wèn)題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過(guò)濾天花板夾層和墻體的方法演化為潔凈工作臺(tái)。這個(gè)主要是把過(guò)濾器裝在單個(gè)工作臺(tái)上，并使用無(wú)脫落的物質(zhì)。在工作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存、運(yùn)輸。

在大型車間中按順序排列的工作臺(tái)（叫做工作罩）組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過(guò)而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過(guò)濾器是一種高效顆粒搜集過(guò)濾器（HEPA過(guò)濾器）。這些過(guò)濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過(guò)濾層，使得大量的空氣低速流過(guò)。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺(tái)的潔凈度，并且對(duì)于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸。HEPA過(guò)濾器可達(dá)到99.99%或更高的過(guò)濾效率，并可用于三種凈化方法中。

一般來(lái)說(shuō)，HEPA高新過(guò)濾器裝于潔凈工作臺(tái)頂部?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過(guò)前置過(guò)濾器，再通過(guò)HEPA過(guò)濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺(tái)表面改變方向，流出工作臺(tái)。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式（VLF）工作臺(tái)，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺(tái)把HEPA過(guò)濾器裝于工作臺(tái)后部，這種方式被稱為空氣層流平行（HLF）式工作臺(tái)。

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