高效空氣過濾器(HEPA)過濾裝置，一般用于無塵室,潔凈車間，潔凈廠房，實驗室及潔凈室，或者用于電子機械通信設備等的防塵。有初效空氣過濾器，中效空氣過濾器，高效空氣過濾器及亞高效等型號。各種型號有不同的標準和使用效能。高效空氣過濾器的原型是人們?yōu)楸Ｗo呼吸而使用的呼吸保護器具。

據(jù)記載,早在一世紀的羅馬,人們在提純水銀的時候就用粗麻制成的面具進行保護。在此之后的漫長時間里,高效空氣過濾器也取得了進展,但其主要是作為呼吸保護器具用于一些危險的行業(yè),如有害化學品的生產。1827年布朗發(fā)現(xiàn)了微小粒子的運動規(guī)律,人們對空氣過濾的機理有了進一步的認識。高效空氣過濾器的迅速發(fā)展是與軍事工業(yè)和電子工業(yè)的發(fā)展緊密相關的。在第一次世界大戰(zhàn)期間,由于各種化學毒劑的使用,以石棉纖維過濾紙作為濾煙層的軍用防毒面具應運而生。玻璃纖維過濾介質用于空氣過濾于1940年10月在美國取得專利。50年代,美國對玻璃纖維過濾紙的生產工藝進行了深入的研究,使高效過空氣濾器得到了改善和發(fā)展。60年代,HEPA過濾器問世;70年代,采用微細玻璃纖維過濾紙作為過濾介質的HEPA過濾器,對013微米粒徑的粒子過濾效率高達99.9998%。八十年代以來,隨著新的測試方法的出現(xiàn)、使用評價的提高及對過濾性能要求的提高,發(fā)現(xiàn)HEPA過濾器存在著嚴重的問題,于是又產生了性能更高的ULPA過濾器。目前,各國仍在努力研究,估計不久就會出現(xiàn)更先進的高效過濾器。

高效過濾器的作用從氣源出來的壓縮空氣中含有過量的水汽和油滴,同時還有固體雜質,如鐵銹、沙粒、管道密封劑等,這些會損壞活塞密封環(huán),堵塞元器件上的小排氣孔,縮短元器件的使用壽命或使之失效，將壓縮空氣中的液態(tài)水、液態(tài)油滴分離出來,并濾去空氣中的灰塵和固體雜質,但不能除去氣態(tài)的水和油。

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